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洁净室工程通俗称为无尘车间、净化车间、洁净室等名称;其主要原理是将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在所需求范围内。主要是对洁净度、温度、湿度的控制,提升作业环境,提高产品良率。
无尘车间按用途分类: 空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。 静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。 动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
实验室净化工程的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。